光刻机为什么那么难制造

导语本文整理了光刻机为什么那么难制造知识，不管是了解相关知识，还是写作素材整理，都是理想的参考文章，希望对您有所帮助！1、首先光刻机的镜头和光源技术难度大，研发需要很长的历史和时间。其实光刻机的发展历史很长。自20世纪90年代以来，发达国家开始研究光刻机的相关技术。其中美国著名厂商asml负责研发，